Рынок оборудования для производства микроэлектроники  --  Микроэлектроника

 

2019

Крупнейшие производители оборудования для микроэлектронного производства. Источник: habr.com

 

Виды производственного оборудования

EUV-сканеры  

 

Поставщики производственного технологического оборудования, работающие на рынке России

Минатех, Москва

Поставщик решений ряда зарубежных производителей. Установки безмасковой литографии, контактной фотолитографии, плазменного травления, плаземенного осаждения, атомно-слоевого осаждения, электронно-лучевая литография, нанолитография, плазменная очистка, вакуумное напыление, установки осаждения графена, диффузионные печи, шлифовка, полировка и утонение пластин, планаризация и ХМП, очистка пластин и фотошаблонов, монтаж на пленку, ламинаторы пластин, УФ отверждение, растяжка.  minateh.ru 

НИИТМ, Россия

2023.02 Разработана эскизная конструкторская документация и начато изготовление экспериментальных образцов технологических модулей кластеров плазмохимического травления (ПХТ) и плазмохимического осаждения (ПХО) для обработки пластин диаметром до 300 мм и уровня технологии 65 нм.
В рамках комплексного проекта АО НИИТМ разрабатывает и организует производство комплекта промышленно-ориентированных установок, объединенных единой роботизированной вакуумной транспортной системой загрузки-выгрузки пластин диаметром 200 мм из СМИФ-контейнеров для реализации следующих базовых технологических процессов (БТП) с уровнем технологии 180-65 нм:

• плазмоассистируемого атомно-слоевого осаждения диэлектрических, барьерных и затравочных слоев;
• плазмохимического травления поликристаллического кремния, нитрида кремния, гладких траншей в кремнии;
• плазмохимического травления глубоких отверстий в кремнии на основе Бош-процесса;
•плазмохимического удаления фоторезистов и очистки стенок отверстий от полимеров, оставшихся после травления кремния на базе Бош-процесса.

Проводились испытания в целях проверки и оценки степени соответствия опытных образцов продукции и БТП требованиям технических заданий (ТЗ). nppesto.ru  

Семитек, Россия

ЭСТО (АО НПП ЭСТО), Россия

2023.02 Оборудование плазмохимического травления 65 нм - 28 нм (ионное и плазмохимическое), установка XORS-200A (200мм кластер XORS‑200A "является масштабированной копией аналогичной 300-мм процессной камеры");
формирование металлизации для различных ИС;
нанесение резистивных и проводящих покрытий;
нанесение многокомпонентных составов;
применение взрывной литографии;
вакуумное напыление металлов и прочее (магнетронное и ионно-лучевое)
 

 

Участники рынка оборудования для производства полупроводников

Китай

ACM Research, Inc., США 

2023.02 поставщик промышленного оборудования для индустрии производства полупроводников. Компания располагает перспективной технологией акустически-кавитационной очистки SAPS-V, используемой для очистки кремниевых пластин. В отличие от традиционной ультразвуковой очистки, технология SAPS-V снижает брак при одновременном росте производительности. Интересно, что эта "американская" компания "живет" в Китае, где у нее есть и производство и разработка. 

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China (AMEC), Китай

Beijing Huafon Measurement and Control Technology Co., Ltd. (Huafon Measurement and Control Technology Co.), Китай

2022. Оборудование для тестирования. Испытательные платформы для аналоговых испытаний. Установленная мощность - более 5 тысяч продуктов. 

Beijing Jingyi Jingwei Technology Co., Ltd. (Jingyi Jingwei Technology Co., Ltd. - Шуоке Микроэлектронка, ранее Шуоке Jingwei), Китай

2022. В основном выпускает оборудование для CMP. 

Beijing Yitang Semiconductor Technology Co., Ltd. (Yitang Semiconductor - Йи Тан), Китай

2022. Оборудование для производителей микросхем: сухого склеивания, сухого травления, быстрой термообработки, отжига на уровне миллисекунд. Более 300 патентов, более 3700 единиц установленного по всему миру оборудования.  

Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co., Ltd. (Чжункесинь), Китай

2022. Дочерняя компания Dianke Equipment. Специализируется на исследованиях и разработках, производстве и продаже устройств для ионной имплантации, а также на производстве и продаже фотогальванических продуктов, ионных имплантеров для IGBT, карбида кремния и производства аккумуляторов. 

China Micro Semiconductor Equipment Co.. Ltd, Китай

2022. Выпускает оборудование для производства микросхем. 

E-Town Semiconductor Technology, Китай

Hangzhou Changchuan Technology Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2008 году. Основные продукты: машины для тестирования, сортировки, зондовые станции, оборудования AOI, оборудования для автоматизации.  

Huahai Qingke Co., Ltd., Китай

2022. Производитель оборудования для микроэлектронного производства. Основные продукты включают: оборудование CMP, оборудование для разбавления, система подачи жидкости, оборудование для регенерации пластин, основные расходные материалы и услуги по техническому обслуживанию. Оборудование компании используется в процессах производства ИС и МЭМС, корпусирования, производства пластин. 

Kingsemi, Китай

NAURA Technology, Китай

2022. Занимается выпуском оборудования для производства полупроводников, вакуумного оборудования, оборудования для производства литиевых батарей и прецизионных компонентов. 4 основные производственные базы. Работает с покупателями в Европе, США и Азии.

Piotech, Китай

 

Pure Technology, Китай

2022. Основанная в 2000 году компания предоставляет "технологические решения высокой чистоты" производственным компаниям плюс соответствующие услуги. 

Shanghai Kaishitong Semiconductor Co., Ltd., Китай

2022. Предприятие, объединяющее научные разработки и производство оборудования с использованием технологии ионного излучения. Разрабатывает, производит, восстанавливает и продает устройства для имплантации ионов. Основные области применения - производство фотогальванических солнечных батарей, новых плоских дисплеев, полупроводниковых ИС. 

Shanghai Micro Electronics Equipment Group, Китай

2022. Единственное в Китае предприятие, способное производить машины для фотолитографии серийно - 90нм DUV. Идет НИОКР литографических машин 45нм и 28нм. 

Shanghai Wanye Enterprise Co., Ltd. (Ванье Энтерпрайз), Китай

2022. Основана в октябре 1991 года. После приобретения в 2018 году Shanghai Kaishitong Semiconductor Co., Ltd. вышла на рынок устройств для ионной имплантации. В 2021 году создала дочернюю структуру Jiaxin Semiconductor с планами, что она займется оборудованием для формирования ядра ИС - травления, осаждения пленки, быстрой термообработки. 

Shengmei, Китай 

2022. Специализируется на исследованиях и разработке, производстве и продаже оборудования для производства интегральных схем, упаковки и производства кремниевых пластин. 

Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co., Ltd., Китай

2022. Выпускает различное оборудование, используемое в производстве микроэлектроники. Например, распределитель клея, проявитель, распылитель клея, средства удаления клея, машина для валжного травления, машина для очистки одиночных чипов и т.п. Используются в производстве полупроводников, корпусировании, производстве MEMS, OLED, 3D-IC, PV и т.п. 

Tuojing Technology Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2010 году. Продукция компании включает оборудование для химического осаждения из газовой фазы с плазменным усилением (PECVD), оборудование для атомно-слоевого осаждения (ALD) и оборудование для химического осаждения из паровой фазы под атмосферным давлением (SACVD). Считается, что технические показатели продуктов компании - на мировом уровне. 

Wuhan Jingce Electronics Group Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2006 году. Исследования и разработка технологии плоскопанельных дисплеев, системы тестирования и испытаний полупроводников. 

Zhongwei, Шэньчжэнь, Китай

2022. Оборудование для производства устройств для обработки в микро- и наномасштабе. 

Нидерланды

ASM International, Нидерланды

2022 Входит в Топ-9 крупнейших производителей оборудования для производства микроэлектроники в мире

ASML Holding, Нидерланды

2022. Делит с американской AMAT первые два места в рейтинге Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Оборудование для литографии - до 80% рынка в 2019 году (основные конкуренты - Canon и Nikon). Крупнейший производитель EUV-сканеров. 

Выручка в 2019 году - $12 млрд. Правительством страны по просьбе США запрещено поставлять новейшие литографические стеллеры китайским компаниям.

SUSS MicroTec, Нидерланды

Поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности. 

США

ASM International, Нидерланды

2022.12 Занимает 9-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

ACM Research, Inc., США

поставщик промышленного оборудования для индустрии производства полупроводников. Компания располагает перспективной технологией акустически-кавитационной очистки SAPS-V, используемой для очистки кремниевых пластин. В отличие от традиционной ультразвуковой очистки, технология SAPS-V снижает брак при одновременном росте производительности. Интересно, что эта "американская" компания "живет" в Китае, где у нее есть и производство и разработка. 

Applied Materials (AMAT), США 

Компания выпускает оборудование для всех стадий производства. 

2022 Делит с ASML первые два места в рейтинге Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 
Выручка - $17 млрд в 2019 году.
С 1990 по 2017 год компания лидировала на рынке оборудования для производства полупроводниковых пластин. В 2018 году ее доля составляла 19,2%. Но ожидалось, что в 2019 году лидерство перехватит нидерландская ASML. / 3dnews.ru  

Axus Technology, США

Производство оборудования для производства микроэлектроники, например, IPEC 472 для химико-механической полировки слоев диэлектрика. 

KLA-Tencor, США

Решения для управления производством и метрологическое оборудование

2022. Занимает 5-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Выручка в 2019 году - $4 млрд

Lam Research, США

Оборудование для травления и напыления

В 2022 году занимает 3-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Выручка в 2019 году - $10 млрд

Франция

Riber, Франция

Производитель установок электронно-лучевой эпитаксии. Такая установка закуплена, например, в АО "Экран-оптические системы", Новосибирск.  

 

Япония

Advantest, Япония

2022. Занимает 7-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Canon Corp., Япония

оборудование для фотолитографии

Dainippon Screen Manufacturing, Япония

 

Disco Corp., Япония 

2022.12 Занимает 10-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Hitachi High Technologies, Япония

2022.12 Занимает 8-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Hitachi Kokusai Electric, Япония

 

Nikon Corp, Япония

оборудование для фотолитографии

SCREEN Semiconductor Solutions, Япония

2022. Занимает 6-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Tokyo Electron Ltd (TEL), Япония

Поставщик оборудования для различных технологических процессов в производстве микроэлектроники, в частности, фотолитографов. 

2022. Занимает 4-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

 

Новости

2022.11.22 Академик Александр Сергеев, научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ) заявляет, что рентгеновский литограф для производства современных чипов при условии коллаборации российских коллективов может быть создан за 2-3 года. 
В НЦФМ готовы такую коллаборацию предложить, с привлечением, в частности специалистов института прикладной физики РАН и в Федеральном ядерном центре в Сарове (технология рентгеновских зеркал) и также разработок института им. Седакова. Этих команд было бы достаточно с точки зрения технологий, но в коллаборации могли бы принять участие и другие, например, ГК Росатом. 
Что же, в теории и на бумаге такие проекты выглядят вполне жизнеспособно. Совсем иное - практическая реализация. Почему-то мы намного чаще слышим о тех или иных планах, чем о чем-то, что уже удалось создать, особенно, если речь не об изобретении какой-то пусть и уникальной, но штучной установки или вовсе лишь прототипа. 

2021.11.22 Минпромторг вложит 5,7 млрд рублей в надежде получить отечественную фотолитографическую установку, сообщает КоммерсантЪ. Победителем в конкурсе стал АО "Зеленоградский нанотехнологический центр (АО ЗНТЦ), работы должны быть сданы до ноября 2026 года. К сожалению, речь не идет о современных техпроцессах, минимальная топология, доступная установке будет - 130нм - 65нм. 
Впрочем, в стратегии развития отрасли предусмотрено и дальнейшая разработка отечественного оборудования. И поскольку "перепрыгивать" через те или иные этапы развития сложно, придется, видимо, повторять весь путь, проделанный зарубежными разработчиками в последние 20 лет.
Растущий интерес к созданию технологического оборудования для производства микроэлектроники - должен радовать всех, кто ратует за отечественную микроэлектронику. Cтоило бы не забывать также о фоторезистах и пластинах, то и другое также необходимо научиться производить в России. Да и САПР пока что остается зарубежным. Без решения и этих проблем говорить о независимости от зарубежных поставок не приходится.

2021.11.18 В Минпромторге, наконец, вспомнили, что театр начинается с вешалки, а микроэлектроника - с производственного оборудования. И заказали разработку программы по развитию электронного машиностроения, исполнителем будет "Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов", который освоит 99 млн руб. (Удивил ли вас этот выбор?). Об этом сегодня рассказывает Никита Королев, КоммерсантЪ. 
Сейчас в России практически нет отечественного производства средств производства для отрасли, производящей микросхемы. В целом, такие разработки доступны небольшому числу стран, т.к. требуют сочетания интеллектуального потенциала и мощных финансовых вливаний. Как правило, современное производственное оборудование не создается в недрах госпредприятий и учреждений, в основном ее разработкой занимаются крупные частные бизнесы, аналогов которых в России на сегодня нет.
В любом случае, пройденный зарубежными компаниями в режиме жесткой международной конкуренции путь нельзя будет повторить в России за несколько лет, да и средства на это вряд ли можно будет найти в необходимых объемах.
Так что заниматься темой отечественного производственного оборудования можно и нужно, но ни на какие быстрые результаты рассчитывать не стоит, если не предаваться успокоительному самообману.
И не будем забывать о том, что санкции могут торпедировать "перезапуск" отечественной микроэлектроники в любой момент, если в США сочтут это необходимым. Ведь такие важные составляющие процесса, как, например, фоторезисты, также не производятся в России.

2019.11.25 ASML станет лидером рынка оборудования для производства полупроводников по итогам 2019 года. 

 

----

Подписывайтесь на Telegram-канал RUS посвященный микроэлектронике или на Facebook-канал RUSmicro 

----