Микроэлектроника: Конспекты - Состояние дел по проекту литографа на длину волны 11.2 нм

MForum.ru

Микроэлектроника: Конспекты - Состояние дел по проекту литографа на длину волны 11.2 нм

17.03.2025, MForum.ru


Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Н. Нечай, В. Паульс, В.Н. Полковников, Институт физики микроструктур РАН, Н.Новгород. Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX симпозиуме Нанофизика и наноэлектроника.

Н.И. Чхало:

По итогам последних 3 лет можно констатировать, что «процесс пошел». Самое новое, что произошло – скорректирована концепция, дорожная карта развития рентгеновской литографии.

Произошел сдвиг по срокам, в рамках первого этапа до создания этой альфа-машины пройдет примерно 4 года. А второй этап – это уже создание на ее основе, путем ее доведения, индустриальной машины.

Мы беремся за 4-х зеркальный объектив с очень скромной апертурой NA=0.14. При этом поле засветки у такой машины будет как у машины ASML: высота 26 мм, а ширина W’ ~ 0.5мм.

3 марта 2025 года стартовал аванпроект ФПИ «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа». Лед тронулся! У нас есть и соисполнители.

У нас активно работы ведутся по лазерно-плазменным источникам рентгеновского излучения. Причем с привлечением внешних партнеров. Раньше мы все сами пытались делать, теперь и Троицк в этом направлении начал работать. А Троицк – это те люди, которые, по сути, создали теорию лазеро-плазменных источников ASML, это очень мощная команда.

Мы хотим немного повысить числовую апертуру NA, чтобы, во-первых, добиться патентной чистоты системы с 4-зеркальным объективом, а во-вторых, чтобы повысить контрастность.

Есть возможность плавно перейти от первой экспериментальной машины к индустриальной машине.

Коллектив у нас вырос, много молодых ребят, они точно все сделают.

🔹 Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX Симпозиуме "Нанофизика и наноэлектроника"

🔹 Видеозапись выступления

--

За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: конспекты микроэлектроника фотолитография

-- 

© Алексей Бойко, MForum.ru


Публикации по теме:

27.02. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel сообщает, что новые машины ASML запущены и результаты – положительные / MForum.ru

14.11. [Новости компаний] Микроэлектроника: В ASML надеются на рост спроса на свои решения вплоть до 2030 года / MForum.ru

11.05. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel, возможно, получит все High-NA EUV сканеры, произведенные ASML в 2023-2024 году / MForum.ru

06.03. [Новости компаний] Микроэлектроника: В России вскоре начнется "Фотолиз" / MForum.ru

23.10. [Краткие новости]  EUV-сканеры / MForum.ru

Обсуждение (открыть в отдельном окне)

В форуме нет сообщений.

Новое сообщение:
Complete in 3 ms, lookup=0 ms, find=3 ms

Последние сообщения в форумах

Ничего не найдено.

Все форумы »



Поиск по сайту:

Подписка:

Подписаться
Отписаться


Новости

04.07. [Новинки] Слухи: Аксессуары для Samsung Galaxy Z Flip 7 показали на рендерах / MForum.ru

03.07. [Новинки] Анонсы: Moto G100 Pro с MediaTek Dimensity 7300 и АКБ 6720 мАч представлен официально / MForum.ru

03.07. [Новинки] Анонсы: Infinix Hot 60i с AI-функциями представлен официально / MForum.ru

03.07. [Новинки] Анонсы: Tecno представила 3 смартфона серии Spark 40 / MForurm.ru

02.07. [Новинки] Cлухи: Появились подробности о Google Pixel 10 Pro и Google Pixel 10 Pro XL / MForum.ru

02.07. [Новинки] Анонсы: Nothing Phone (3) с Glyph Matrix представлен официально / MForum.ru

01.07. [Новинки] Слухи: Moto G96 5G может быть представлен 9 июля / MForum.ru

01.07. [Новинки] Слухи: Появились данные о размере батареи Redmi Turbo 5 Pro / Poco F8 / MForum.ru

30.06. [Новинки] Анонсы: Xiaomi Watch S4 41 мм и Band 10 представлены официально / MForum.ru

27.06. [Новинки] Анонсы: Xiaomi Pad 7S Pro 12.5 на чипсете Xring O1 представлен официально / MForum.ru

26.06. [Новинки] Анонсы: Redmi K80 Ultra представлен официально / MForum.ru

26.06. [Новинки] Анонсы: Экологичный смартфон Fairphone 6 представлен официально / MForum.ru

25.06. [Новинки] Анонсы: Poco F7 на чипсете Snapdragon 8s Gen 4 представлен официально / MForum.ru

24.06. [Новинки] Анонсы: Galaxy Unpacked 2025 состоится 9 июля / MForum.ru

24.06. [Новинки] Анонсы: Компактный смартфон Vivo X200 FE представлен официально / MForum.ru

23.06. [Новинки] Анонсы: Oppo K13x 5G представлен как «самый надежный смартфон в сегменте» / MForum.ru

23.06. [Новинки] Слухи: Толщина Honor Magic V5 составит 8,8 мм / MForum.ru

20.06. [Новинки] Слухи: Раскрыты подробности о Redmi K80 Ultra / MForum.ru

20.06. [Новинки] Слухи: Honor Magic V5 может стать самым тонким складным смартфоном в мире / MForum.ru

19.06. [Новинки] Анонсы: Глобальная версия Oppo Reno 14 5G представлена в Японии / MForum.ru